3D集積化プロセスにおいて材料の層を転写する方法ならびに関連する構造体およびデバイス[ja]

被引:0
申请号
JP20140532486
申请日
2012-08-13
公开(公告)号
JP2014531768A
公开(公告)日
2014-11-27
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/02
IPC分类号
H01L21/265 H01L27/12
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[4]
生体材料およびそれに関連する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022522247A ,2022-04-14
[8]
3Dセル及びアレイ構造体並びにプロセス[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025535314A ,2025-10-24
[9]
集積化ガスセンサ及びそれに関連する製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016537654A ,2016-12-01
[10]
周期的堆積プロセスによって基材の誘電体表面上にモリブデン金属膜を堆積させる方法および関連する半導体デバイス構造[ja] [P]. 
BHUSHAN ZOPE ;
SHANKAR SWAMINATHAN ;
KIRAN SHRESTHA ;
ZHU CHIYU ;
HENRI TUOMAS ANTERO JUSSILA ;
XIE QI .
日本专利 :JP2024161046A ,2024-11-15