共 50 条
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酸化物半導体膜及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180525322
申请日：
2017-06-30
公开(公告)号：
JP6994183B2
公开(公告)日：
2022-01-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/365
IPC分类号：
C01G55/00
C23C16/40
C23C16/448
H01L21/337
H01L21/338
H01L21/368
H01L29/12
H01L29/24
H01L29/739
H01L29/778
H01L29/78
H01L29/808
H01L29/812
H01L29/872
H10N10/855
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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