共 50 条
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ＰＶＤルテニウムを使用した方法及び装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20190517908
申请日：
2017-10-02
公开(公告)号：
JP2019530981A
公开(公告)日：
2019-10-24
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/285
IPC分类号：
C23C14/14
C23C14/34
C23C14/58
H01L21/28
H01L29/423
H01L29/49
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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