銅のマイクロエッチング剤及びその補給液、並びに配線基板の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20130536347
申请日
2013-06-25
公开(公告)号
JPWO2013187537A1
公开(公告)日
2016-02-08
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23F1/18
IPC分类号
H05K3/18
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
[3]
エッチング液、補給液及び銅配線の形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5618340B1 ,2014-11-05
[4]
マイクロチップ、及びマイクロチップの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012056878A1 ,2014-03-20
[5]
エッチング液、補給液、及び配線形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014171174A1 ,2017-02-16
[9]
シリコンエッチング液およびその製造方法、基板の処理方法、並びにシリコンデバイスの製造方法[ja] [P]. 
HITOMI TATSUYA ;
SEIKE YOSHIKI ;
NORO KOSUKE ;
OKIMURA KOSHIRO .
日本专利 :JP2024035172A ,2024-03-13