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強誘電体材料としてのケイ素ドープ酸化ハフニウムの堆積のための新規配合物[ja]
被引：0
申请号：
JP20190550704
申请日：
2018-03-14
公开(公告)号：
JP6920457B2
公开(公告)日：
2021-08-18
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C16/40
C23C16/50
H10B51/00
H10B51/30
H10B53/00
H10B53/30
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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