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タングステン焼結体スパッタリングターゲット[ja]
被引：0
申请号：
JP20100515801
申请日：
2009-04-16
公开(公告)号：
JPWO2009147900A1
公开(公告)日：
2011-10-27
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F1/00
C22C1/04
C22C27/04
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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