共 50 条
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酸化物クラッド層を有する窒化物ベースの電子デバイス及び製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200501242
申请日：
2018-06-14
公开(公告)号：
JP2020527857A
公开(公告)日：
2020-09-10
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01S5/20
IPC分类号：
C23C16/34
H01L21/205
H01S5/343
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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