レジストパターン被覆用塗布液[ja]

被引：0

申请号：

JP20160548967

申请日：

2015-09-18

公开(公告)号：

JPWO2016043317A1

公开(公告)日：

2017-06-29

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F7/40

IPC分类号：

C09D7/12 C09D133/00 C09D201/04 C09D201/06

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法律状态信息

共 50 条

[1]

レジストパターン被覆用塗布液及びパターンの形成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016158507A1 ,2018-01-25

[2]

レジストパターン塗布用組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2016190261A1 ,2018-03-08

[3]

レジストパターン塗布用組成物[ja] [P].

SHIBAYAMA WATARU ;

NAKAJIMA MAKOTO ;

SHIGAKI SHUHEI ;

TANIGUCHI HIROAKI ;

SAKAMOTO RIKIMARU .

日本专利 :JP2022008804A ,2022-01-14

[4]

レジストパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025157761A ,2025-10-16

[5]

レジストパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025157762A ,2025-10-16

[6]

レジストパターン形成方法及びレジスト[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017169807A1 ,2019-02-14

[7]

レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025150335A ,2025-10-09

[8]

レジスト組成物及びレジストパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015137485A1 ,2017-04-06

[9]

レジストパターンコーティング剤及びレジストパターン形成方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010032839A1 ,2012-02-16

[10]

レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022095647A ,2022-06-28

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