共 12 条
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ニッケル合金スパッタリングターゲット及びニッケル合金薄膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20050514929
申请日：
2004-10-14
公开(公告)号：
JPWO2005041290A1
公开(公告)日：
2008-06-12
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C22C19/03
H01L21/28
H01L21/285
H01L21/60
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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