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スパッタリングターゲット用酸化クロム粉末及びスパッタリングターゲット[ja]
被引：0
申请号：
JP20070521131
申请日：
2006-03-10
公开(公告)号：
JPWO2006134694A1
公开(公告)日：
2009-01-08
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C01G37/02
C04B35/12
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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