Ti膜付きガラス基板及びこれを用いた金属膜付きガラス基板、Ti膜付きガラス基板及びこれを用いた金属膜付きガラス基板の製造方法、ならびにガラス基板表面の平坦度評価方法[ja]

被引:0
申请号
JP20120174896
申请日
2012-08-07
公开(公告)号
JP5983164B2
公开(公告)日
2016-08-31
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C03C17/40
IPC分类号
C03C19/00 C03C23/00 C22C9/00 C23C14/14
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 42 条
[2]
配線化ガラス基板及び配線化ガラス基板の製造方法[ja] [P]. 
YOSHIKAWA MINORU ;
MATSUBARA TOMOHIRO ;
YACHITA TOMOHIRO ;
TAMAOKI KATSUYA ;
AISAKA NAOKI .
日本专利 :JP2025023741A ,2025-02-17
[6]
金属膜付き半導体デバイスの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7184458B2 ,2022-12-06
[7]
[9]
金属膜用研磨液及びこれを用いた研磨方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2009128430A1 ,2011-08-04