コンタクトの高さの差が大きいメモリ用途のための非導電性エッチングストップ構造[ja]

被引:0
申请号
JP20210557115
申请日
2019-05-09
公开(公告)号
JP2022533516A
公开(公告)日
2022-07-25
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H10B41/20
IPC分类号
H01L21/3065 H01L21/336 H01L21/768 H10B41/27 H10B41/50 H10B43/27 H10B43/50
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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VALERII VINOKUR ;
NICOLA POCCIA ;
URI VOOL .
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