コーティング用組成物およびフォトレジスト積層体の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20150550911
申请日
2014-11-21
公开(公告)号
JPWO2015080061A1
公开(公告)日
2017-03-16
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C09D127/12
IPC分类号
B32B27/30 C08F16/24 C09D5/02 C09D7/12
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[3]
フォトレジスト組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2015501954A ,2015-01-19
[4]
フォトレジスト組成物およびその硬化物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020203790A1 ,2021-04-30
[7]
ポジ型フォトレジスト及び構造体の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2005050319A1 ,2007-06-07
[10]
樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法[ja] [P]. 
MASUYAMA TATSURO ;
SHIMADA MASAHIKO ;
ICHIKAWA KOJI .
日本专利 :JP2022008650A ,2022-01-13