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一种高效的半导体晶片的热处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410407291.X
申请日：
2024-04-03
公开(公告)号：
CN118248597A
公开(公告)日：
2024-06-25
发明(设计)人：
朱志林
申请人：
深圳市圣柏林橡塑电子有限公司
申请人地址：
518109 广东省深圳市龙华区大浪街道安丰工业区B1栋4楼整层
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
北京鼎和日升专利代理有限公司 16188
代理人：
吕勇军
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-25 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-07 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):H01L 21/67申请公布日:20240625 |