一种用于碳化硅衬底研磨用单晶钻石液的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410932579.9

申请日：

2024-07-12

公开(公告)号：

CN118725826A

公开(公告)日：

2024-10-01

发明(设计)人：

陈斌王鑫刘胥冠李嘉春

申请人：

深圳中机新材料有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区粤兴三道8号中国地质大学产学研基地中地大楼C306

IPC主分类号：

C09K3/14

IPC分类号：

代理机构：

深圳市龙成联合专利代理有限公司 44344

代理人：

苏玉峰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09K 3/14申请日:20240712
2024-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于碳化硅衬底研磨用团聚钻石液的制备方法 [P].

陈斌 ;

李浩杰 ;

陶阳 ;

袁高龙 .

中国专利 :CN118406438A ,2024-07-30

[2]

一种用于碳化硅衬底DMP的团聚钻石研磨液的制备方法 [P].

陈斌 ;

李浩杰 ;

李黎明 ;

陶阳 ;

陈冬莉 .

中国专利 :CN118638518A ,2024-09-13

[3]

一种碳化硅衬底晶片用研磨液 [P].

王来福 ;

王志强 ;

罗俊 ;

李龙飞 ;

马飞跃 .

中国专利 :CN119552579A ,2025-03-04

[4]

一种用于碳化硅衬底研磨的钻石研磨液及其研磨方法 [P].

孙蕊蕊 ;

罗浩宁 ;

姜霁涛 ;

何慧龄 ;

牛娟娟 ;

王忠海 ;

马明兰 ;

火雅茹 .

中国专利 :CN120041150A ,2025-05-27

[5]

一种用于碳化硅衬底DMP的多晶钻石研磨液制备方法 [P].

陈斌 ;

王鑫 ;

刘胥冠 ;

赵庆振 ;

陈冬莉 .

中国专利 :CN119264873A ,2025-01-07

[6]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333B ,2025-10-10

[7]

一种用于碳化硅衬底抛光的钻石垫及其制备方法 [P].

许亚杰 ;

陈森军 .

中国专利 :CN118404493A ,2024-07-30

[8]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333A ,2025-06-24

[9]

一种碳化硅衬底的制备方法及碳化硅衬底 [P].

欧欣 ;

伊艾伦 .

中国专利 :CN114864424A ,2022-08-05

[10]

制造碳化硅单晶的方法和碳化硅衬底 [P].

西口太郎 ;

原田真 ;

佐佐木信 .

中国专利 :CN102473605A ,2012-05-23

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