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一种硅片制绒预清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323454084.X
申请日：
2023-12-18
公开(公告)号：
CN221805453U
公开(公告)日：
2024-10-01
发明(设计)人：
林琼舞
赵文闯
程绍学
申请人：
苏州铭电智能科技有限公司
申请人地址：
215100 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道吴淞路892号3#厂房
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L31/18
代理机构：
北京中普鸿儒知识产权代理有限公司 11822
代理人：
陈永秀
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
衡水市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-01 | 授权 | 授权 |