一种晶圆测速系统及外延设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323128109.7

申请日：

2023-11-20

公开(公告)号：

CN221544823U

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

于计划卞达开罗际蔚查恒

申请人：

研微（江苏）半导体科技有限公司

申请人地址：

214124 江苏省无锡市经济开发区太湖街道震泽路688号太湖湾信息技术产业园1号楼2201-01

IPC主分类号：

C30B25/16

IPC分类号：

H01L21/66 H01L21/67 C30B29/36 G01P3/00

代理机构：

北京猷德知识产权代理有限公司 16084

代理人：

范继晨;赵冬梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种旋转装置及晶圆外延设备 [P].

黄帅帅 ;

肖蕴章 ;

钟国仿 ;

王泽桦 ;

刘亮辉 ;

杨方 ;

徐鑫 ;

经军辉 ;

刘佳明 ;

陈炳安 .

中国专利 :CN216585314U ,2022-05-24

[2]

一种晶圆外延设备 [P].

金柱炫 ;

王力 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN110670127B ,2020-01-10

[3]

晶圆承载装置及外延设备 [P].

刘毅 ;

傅林坚 ;

余婷 ;

曹建伟 ;

梁旭 ;

周文龙 .

中国专利 :CN120250150A ,2025-07-04

[4]

晶圆承载装置及外延设备 [P].

刘毅 ;

傅林坚 ;

余婷 ;

曹建伟 ;

梁旭 ;

周文龙 .

中国专利 :CN120250150B ,2025-08-15

[5]

一种晶圆外延设备的处理方法和晶圆处理方法 [P].

金柱炫 ;

方圭哲 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN110670129A ,2020-01-10

[6]

一种测速设备及测速系统 [P].

程赟 ;

来先家 .

中国专利 :CN208027572U ,2018-10-30

[7]

一种晶圆外延薄膜装置 [P].

刘振兴 ;

赵哲 ;

张优优 ;

沈淳 ;

周长健 ;

潘尧波 .

中国专利 :CN216688313U ,2022-06-07

[8]

一种外延设备晶圆传送装置 [P].

万胜强 ;

王娟 ;

刘柱 .

中国专利 :CN115101463A ,2022-09-23

[9]

一种晶圆载具及外延生长设备 [P].

胡洪雨 ;

郑元宇 ;

林峰 ;

张富钦 .

中国专利 :CN216749857U ,2022-06-14

[10]

一种晶圆载盘结构及外延生长设备 [P].

郑元宇 ;

林科闯 ;

胡洪雨 ;

林峰 ;

张富钦 .

中国专利 :CN216749855U ,2022-06-14

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