一种外延设备晶圆传送装置

被引：0

申请号：

CN202210743269.3

申请日：

2022-06-28

公开(公告)号：

CN115101463A

公开(公告)日：

2022-09-23

发明(设计)人：

万胜强王娟刘柱

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

周长清

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆外延设备 [P].

金柱炫 ;

王力 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN110670127B ,2020-01-10

[2]

一种晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

魏猛 ;

郭聪 ;

张爽 ;

李冬海 .

中国专利 :CN119028890B ,2025-01-14

[3]

一种晶圆传送装置和晶圆传送方法 [P].

周斌 ;

陈新 ;

谭志豪 .

中国专利 :CN115424965A ,2022-12-02

[4]

一种晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

魏猛 ;

郭聪 ;

张爽 ;

李冬海 .

中国专利 :CN119028890A ,2024-11-26

[5]

晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

乔鹏 .

中国专利 :CN119725189A ,2025-03-28

[6]

晶圆传送装置、晶圆传送装置的控制方法及晶圆加工设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109786297B ,2019-05-21

[7]

晶圆传送装置以及晶圆传送方法 [P].

李春龙 ;

李俊峰 .

中国专利 :CN102719895A ,2012-10-10

[8]

晶圆传送装置和晶圆传送方法 [P].

高明昕 ;

张成明 .

中国专利 :CN112928050A ,2021-06-08

[9]

晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P].

许嘉祐 ;

申世泓 ;

颜炎 ;

涂伟峰 ;

黄政贤 .

中国专利 :CN112838037A ,2021-05-25

[10]

一种旋转装置及晶圆外延设备 [P].

黄帅帅 ;

肖蕴章 ;

钟国仿 ;

王泽桦 ;

刘亮辉 ;

杨方 ;

徐鑫 ;

经军辉 ;

刘佳明 ;

陈炳安 .

中国专利 :CN216585314U ,2022-05-24

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