一种旋转装置及晶圆外延设备

被引：0

申请号：

CN202123319246.X

申请日：

2021-12-27

公开(公告)号：

CN216585314U

公开(公告)日：

2022-05-24

发明(设计)人：

黄帅帅肖蕴章钟国仿王泽桦刘亮辉杨方徐鑫经军辉刘佳明陈炳安

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B

IPC主分类号：

C30B2512

IPC分类号：

C30B2514 H01J3732

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

贾耀斌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆外延设备 [P].

金柱炫 ;

王力 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN110670127B ,2020-01-10

[2]

一种晶圆旋转支撑结构和半导体外延设备 [P].

刘自强 ;

燕春 ;

杨进 .

中国专利 :CN215815830U ,2022-02-11

[3]

预热环、晶圆外延生长设备、外延生长方法及外延硅晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN120210953A ,2025-06-27

[4]

一种晶圆测速系统及外延设备 [P].

于计划 ;

卞达开 ;

罗际蔚 ;

查恒 .

中国专利 :CN221544823U ,2024-08-16

[5]

晶圆承载装置及外延设备 [P].

刘毅 ;

傅林坚 ;

余婷 ;

曹建伟 ;

梁旭 ;

周文龙 .

中国专利 :CN120250150A ,2025-07-04

[6]

晶圆承载装置及外延设备 [P].

刘毅 ;

傅林坚 ;

余婷 ;

曹建伟 ;

梁旭 ;

周文龙 .

中国专利 :CN120250150B ,2025-08-15

[7]

一种外延生长方法及外延晶圆 [P].

刘凯 ;

王力 .

中国专利 :CN115198352B ,2024-03-26

[8]

晶圆旋转装置及晶圆抛光设备 [P].

熊朋 ;

费玖海 ;

李婷 .

中国专利 :CN110137114B ,2019-08-16

[9]

一种外延设备晶圆传送装置 [P].

万胜强 ;

王娟 ;

刘柱 .

中国专利 :CN115101463A ,2022-09-23

[10]

晶圆旋转装置及化学气相沉积设备 [P].

王会会 ;

刘洋 ;

金補哲 .

中国专利 :CN114141684A ,2022-03-04

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