一种外延生长方法及外延晶圆

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211019953.3

申请日：

2022-08-24

公开(公告)号：

CN115198352B

公开(公告)日：

2024-03-26

发明(设计)人：

刘凯王力

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

C30B25/02

IPC分类号：

C23C16/02 H01L21/02

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

沈寒酉;姚勇政

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

外延生长方法及外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119320986A ,2025-01-17

[2]

外延生长方法及外延晶圆 [P].

杨金柱 ;

王力 .

中国专利 :CN115948797B ,2025-05-09

[3]

一种外延生长方法及外延生长设备、外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814262A ,2024-10-22

[4]

一种晶圆外延生长系统及晶圆外延生长方法 [P].

方砚涵 ;

王俊 ;

肖垚 ;

程洋 ;

郭银涛 ;

肖啸 ;

夏明月 ;

邓国亮 ;

杨火木 ;

周昊 ;

张弘 .

中国专利 :CN114855267A ,2022-08-05

[5]

外延生长方法以及外延晶圆 [P].

何斌斌 ;

俎世琦 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN119230390A ,2024-12-31

[6]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210B ,2025-11-18

[7]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210A ,2025-04-04

[8]

预热环、晶圆外延生长设备、外延生长方法及外延硅晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN120210953A ,2025-06-27

[9]

外延生长方法及系统 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119553361A ,2025-03-04

[10]

一种升降销、外延生长装置及晶圆外延生长方法 [P].

闫闯 ;

王力 ;

高尚梁 ;

梁鹏欢 .

中国专利 :CN117727681A ,2024-03-19

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