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一种晶圆外延生长系统及晶圆外延生长方法

被引：0
申请号：
CN202210781178.9
申请日：
2022-07-05
公开(公告)号：
CN114855267A
公开(公告)日：
2022-08-05
发明(设计)人：
方砚涵 王俊 肖垚 程洋 郭银涛 肖啸 夏明月 邓国亮 杨火木 周昊 张弘
申请人：
申请人地址：
215011 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号科技城工业坊-A区2号厂房-1-102、2号厂房-2-203
IPC主分类号：
C30B2502
IPC分类号：
C30B2514 C30B2940
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
刘贺秋
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-05 公开 公开
2022-08-23 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/02 申请日:20220705
共 50 条
[1]
外延生长方法及外延晶圆 [P]. 
梁鹏欢 .
中国专利 :CN119320986A ,2025-01-17
[2]
预热环、晶圆外延生长设备、外延生长方法及外延硅晶圆 [P]. 
梁鹏欢 .
中国专利 :CN120210953A ,2025-06-27
[3]
外延生长方法及外延晶圆 [P]. 
杨金柱 ;
王力 .
中国专利 :CN115948797B ,2025-05-09
[4]
外延生长方法以及外延晶圆 [P]. 
何斌斌 ;
俎世琦 ;
金柱炫 .
中国专利 :CN119230390A ,2024-12-31
[5]
外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P]. 
孙毅 ;
杨海龙 .
中国专利 :CN119764210B ,2025-11-18
[6]
外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P]. 
孙毅 ;
杨海龙 .
中国专利 :CN119764210A ,2025-04-04
[7]
一种外延生长方法及外延生长设备、外延晶圆 [P]. 
梁鹏欢 .
中国专利 :CN118814262A ,2024-10-22
[8]
一种外延生长方法及外延晶圆 [P]. 
刘凯 ;
王力 .
中国专利 :CN115198352B ,2024-03-26
[9]
一种升降销、外延生长装置及晶圆外延生长方法 [P]. 
闫闯 ;
王力 ;
高尚梁 ;
梁鹏欢 .
中国专利 :CN117727681A ,2024-03-19
[10]
基座、外延生长设备及外延晶圆 [P]. 
何斌斌 ;
俎世琦 .
中国专利 :CN120400986A ,2025-08-01
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