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一种旋转样品台及分子束外延设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420035943.7
申请日：
2024-01-08
公开(公告)号：
CN221566371U
公开(公告)日：
2024-08-20
发明(设计)人：
吴煦
吴向方
蔡豫
梁家禄
孔祥鹏
申请人：
鹏城半导体技术（深圳）有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304
IPC主分类号：
C30B25/12
IPC分类号：
C30B23/02
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-20 | 授权 | 授权 |