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空气主轴的粗糙度改善方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202310062788.8
申请日
:
2023-01-18
公开(公告)号
:
CN118360565A
公开(公告)日
:
2024-07-19
发明(设计)人
:
邓三军
申请人
:
东莞新科技术研究开发有限公司
申请人地址
:
523087 广东省东莞市南城区宏远工业区
IPC主分类号
:
C23C14/02
IPC分类号
:
C23C14/16
C23C14/35
代理机构
:
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人
:
杨嘉怡
法律状态
:
公开
国省代码
:
山东省 青岛市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-07-19
公开
公开
2025-12-19
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/02申请日:20230118
共 50 条
[1]
改善沟槽侧壁粗糙度的方法
[P].
请求不公布姓名
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
青岛澳柯玛云联信息技术有限公司
青岛澳柯玛云联信息技术有限公司
请求不公布姓名
.
中国专利
:CN119581323A
,2025-03-07
[2]
改善钢管表面粗糙度的方法
[P].
曹献龙
论文数:
0
引用数:
0
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0
曹献龙
;
王焕新
论文数:
0
引用数:
0
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0
王焕新
;
王世杰
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王世杰
.
中国专利
:CN111500963A
,2020-08-07
[3]
改善光刻线条粗糙度的方法
[P].
王岳
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
安徽晶微科技有限公司
安徽晶微科技有限公司
王岳
;
孙珊珊
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
安徽晶微科技有限公司
安徽晶微科技有限公司
孙珊珊
;
周红宇
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
安徽晶微科技有限公司
安徽晶微科技有限公司
周红宇
;
李海涛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
安徽晶微科技有限公司
安徽晶微科技有限公司
李海涛
.
中国专利
:CN120540010A
,2025-08-26
[4]
改善硅片表面粗糙度的工艺方法
[P].
蔡来强
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
蔡来强
.
中国专利
:CN120048724A
,2025-05-27
[5]
改善超薄铝铜薄膜表面粗糙度的方法
[P].
赵波
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
赵波
.
中国专利
:CN107946235A
,2018-04-20
[6]
改善风电主轴车削加工时表面粗糙度的装置
[P].
马升翼
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
马升翼
;
戚振华
论文数:
0
引用数:
0
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0
戚振华
;
兰驹
论文数:
0
引用数:
0
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0
兰驹
;
刘圣祥
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘圣祥
;
闫振伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
闫振伟
;
翟建青
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
翟建青
.
中国专利
:CN206047784U
,2017-03-29
[7]
改善晶片的表面粗糙度的工艺
[P].
E·内雷
论文数:
0
引用数:
0
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0
E·内雷
;
E·阿雷纳
论文数:
0
引用数:
0
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0
E·阿雷纳
;
L·埃卡尔诺
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
L·埃卡尔诺
.
中国专利
:CN1879204B
,2006-12-13
[8]
改善光刻胶表面粗糙度的方法
[P].
成智国
论文数:
0
引用数:
0
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0
成智国
;
耿文练
论文数:
0
引用数:
0
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0
耿文练
.
中国专利
:CN109062010A
,2018-12-21
[9]
改善晶背粗糙度和污染的方法
[P].
曾裕廉
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
曾裕廉
.
中国专利
:CN115101411A
,2022-09-23
[10]
改善铸件表面粗糙度的方法及系统
[P].
李旭
论文数:
0
引用数:
0
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0
李旭
;
王俊
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王俊
.
中国专利
:CN112276800A
,2021-01-29
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