一种间歇式晶圆吹扫装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323412763.0

申请日：

2023-12-14

公开(公告)号：

CN221387889U

公开(公告)日：

2024-07-23

发明(设计)人：

陆先锋

申请人：

无锡颂林达科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区鹅湖镇甘西路399号（德邻企业内）

IPC主分类号：

B08B5/02

IPC分类号：

B08B13/00 H01L21/67 H01L21/677

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种间歇式晶圆吹扫系统的过滤结构 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN221831888U ,2024-10-15

[2]

晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223743629U ,2025-12-30

[3]

一种晶圆吹扫装置 [P].

韩玮 ;

庄源 .

中国专利 :CN223651371U ,2025-12-09

[4]

一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

刘先欢 ;

颜梦启 .

中国专利 :CN223052106U ,2025-07-01

[5]

晶圆吹扫装置、系统及方法 [P].

张君 .

中国专利 :CN104752261B ,2015-07-01

[6]

一种晶圆吹扫机构 [P].

郑锦 ;

李立松 .

中国专利 :CN222082886U ,2024-11-29

[7]

用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统 [P].

冯小艺 ;

董静思 .

中国专利 :CN220731469U ,2024-04-05

[8]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN210835586U ,2020-06-23

[9]

一种圆棒表面吹扫装置 [P].

周小兵 ;

邱雄文 ;

冯富友 ;

潘泽林 ;

莫杰辉 ;

李学保 ;

孙应军 ;

唐威 ;

杨洁 ;

汪建军 ;

陈建荣 .

中国专利 :CN211359780U ,2020-08-28

[10]

一种外圆磨吹扫装置 [P].

黄飞 .

中国专利 :CN207534646U ,2018-06-26

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