晶圆吹扫装置、系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310750169.4

申请日：

2013-12-30

公开(公告)号：

CN104752261B

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

张君

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

陈振

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618656451 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013107501694 申请日:20131230
2019-01-18	授权	授权
2015-07-01	公开	公开
2017-10-03	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760363742 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013107501694 变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223743629U ,2025-12-30

[2]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN210835586U ,2020-06-23

[3]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN112817215A ,2021-05-18

[4]

用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统 [P].

冯小艺 ;

董静思 .

中国专利 :CN220731469U ,2024-04-05

[5]

一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

刘先欢 ;

颜梦启 .

中国专利 :CN223052106U ,2025-07-01

[6]

吹扫装置及吹扫方法 [P].

本田修一郎 ;

笠谷哲司 ;

池田隼人 ;

石见光隆 ;

渡次圭 ;

菊池日向 .

日本专利 :CN117859004A ,2024-04-09

[7]

一种晶圆吹扫装置 [P].

韩玮 ;

庄源 .

中国专利 :CN223651371U ,2025-12-09

[8]

一种间歇式晶圆吹扫装置 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN221387889U ,2024-07-23

[9]

晶舟自动吹扫装置 [P].

俞玮 ;

倪立华 ;

裴雷洪 .

中国专利 :CN103264025B ,2013-08-28

[10]

吹扫装置及自动吹扫系统 [P].

王帅 ;

朱雷 ;

胡耀明 ;

黄序榕 ;

谭国民 ;

张廷进 ;

刘红刚 ;

龚锋杰 .

中国专利 :CN110947692B ,2025-06-06

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