喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911125376.4

申请日：

2019-11-18

公开(公告)号：

CN112817215A

公开(公告)日：

2021-05-18

发明(设计)人：

曾俊华许维政

申请人：

申请人地址：

230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;高翠花

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20191118
2021-05-18	公开	公开

共 50 条

[1]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN210835586U ,2020-06-23

[2]

一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

刘先欢 ;

颜梦启 .

中国专利 :CN223052106U ,2025-07-01

[3]

晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223743629U ,2025-12-30

[4]

晶圆吹扫装置、系统及方法 [P].

张君 .

中国专利 :CN104752261B ,2015-07-01

[5]

晶圆承载装置 [P].

赵梓含 ;

王家祥 ;

孙国正 .

中国专利 :CN221201132U ,2024-06-21

[6]

用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统 [P].

冯小艺 ;

董静思 .

中国专利 :CN220731469U ,2024-04-05

[7]

一种晶圆吹扫装置 [P].

韩玮 ;

庄源 .

中国专利 :CN223651371U ,2025-12-09

[8]

晶圆承载装置及采用该晶圆承载装置的晶圆清洗装置 [P].

时旭 .

中国专利 :CN112447571A ,2021-03-05

[9]

晶圆承载装置及采用该晶圆承载装置的晶圆清洗装置 [P].

时旭 .

中国专利 :CN210272299U ,2020-04-07

[10]

一种晶圆吹扫用承载盒 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN221407255U ,2024-07-23

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