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喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921985953.2
申请日：
2019-11-18
公开(公告)号：
CN210835586U
公开(公告)日：
2020-06-23
发明(设计)人：
曾俊华
许维政
申请人：
申请人地址：
230001 安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
G03F730
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤;高翠花
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-23 | 授权 | 授权 |