一种晶圆吹扫装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423262687.4

申请日：

2024-12-27

公开(公告)号：

CN223651371U

公开(公告)日：

2025-12-09

发明(设计)人：

韩玮庄源

申请人：

睿励科学仪器（上海）有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区华佗路68号6幢

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B5/02

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223743629U ,2025-12-30

[2]

一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

刘先欢 ;

颜梦启 .

中国专利 :CN223052106U ,2025-07-01

[3]

一种间歇式晶圆吹扫装置 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN221387889U ,2024-07-23

[4]

晶圆吹扫装置、系统及方法 [P].

张君 .

中国专利 :CN104752261B ,2015-07-01

[5]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN210835586U ,2020-06-23

[6]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN112817215A ,2021-05-18

[7]

一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置 [P].

张杨 .

中国专利 :CN104634087A ,2015-05-20

[8]

用于晶圆处理设备的吹扫装置及晶圆处理系统 [P].

冯小艺 ;

董静思 .

中国专利 :CN220731469U ,2024-04-05

[9]

一种圆棒表面吹扫装置 [P].

周小兵 ;

邱雄文 ;

冯富友 ;

潘泽林 ;

莫杰辉 ;

李学保 ;

孙应军 ;

唐威 ;

杨洁 ;

汪建军 ;

陈建荣 .

中国专利 :CN211359780U ,2020-08-28

[10]

一种外圆磨吹扫装置 [P].

黄飞 .

中国专利 :CN207534646U ,2018-06-26

← 1 2 3 4 5 →