一种快速干燥晶圆表面的吹扫装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310553853.3

申请日：

2013-11-07

公开(公告)号：

CN104634087A

公开(公告)日：

2015-05-20

发明(设计)人：

张杨

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

IPC主分类号：

F26B2100

IPC分类号：

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

何丽英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101613564280 IPC(主分类):F26B 21/00 专利申请号:2013105538533 申请日:20131107
2017-06-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752702365 IPC(主分类):F26B 21/00 专利申请号:2013105538533 申请公布日:20150520
2015-05-20	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆吹扫装置及晶圆吹扫系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223743629U ,2025-12-30

[2]

一种晶圆吹扫装置 [P].

韩玮 ;

庄源 .

中国专利 :CN223651371U ,2025-12-09

[3]

一种晶圆吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

刘先欢 ;

颜梦启 .

中国专利 :CN223052106U ,2025-07-01

[4]

一种圆棒表面吹扫装置 [P].

周小兵 ;

邱雄文 ;

冯富友 ;

潘泽林 ;

莫杰辉 ;

李学保 ;

孙应军 ;

唐威 ;

杨洁 ;

汪建军 ;

陈建荣 .

中国专利 :CN211359780U ,2020-08-28

[5]

一种间歇式晶圆吹扫装置 [P].

陆先锋 .

中国专利 :CN221387889U ,2024-07-23

[6]

晶圆吹扫装置、系统及方法 [P].

张君 .

中国专利 :CN104752261B ,2015-07-01

[7]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN210835586U ,2020-06-23

[8]

喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置 [P].

曾俊华 ;

许维政 .

中国专利 :CN112817215A ,2021-05-18

[9]

一种工控主板表面的灰尘吹扫装置 [P].

乐磊 ;

汪志祥 .

中国专利 :CN210632572U ,2020-05-29

[10]

一种用于辊子表面的吹扫装置 [P].

邓龙文 ;

李梁 ;

高超 ;

黎志文 ;

舒郸丹 .

中国专利 :CN220867487U ,2024-04-30

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