一种晶圆片研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322830082.X

申请日：

2023-10-23

公开(公告)号：

CN221186044U

公开(公告)日：

2024-06-21

发明(设计)人：

顾少俊余珺周航

申请人：

鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司

申请人地址：

243000 安徽省马鞍山市慈湖高新区霍里山大道北段1669号3栋

IPC主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B7/22 B24B37/005 B24B37/34 B24B37/28 B24B55/06

代理机构：

南通亿旸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32578

代理人：

朱玲琳

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片研磨装置 [P].

刘姣龙 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

武卫 ;

由佰玲 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN214418501U ,2021-10-19

[2]

一种晶圆片研磨装置 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN215394553U ,2022-01-04

[3]

一种晶圆研磨装置 [P].

黎阳 ;

柴能 .

中国专利 :CN222222231U ,2024-12-24

[4]

一种晶圆片减薄装置 [P].

张云海 .

中国专利 :CN222755164U ,2025-04-15

[5]

晶圆片研磨抛光装置 [P].

周明明 ;

黄鑫星 .

中国专利 :CN220312990U ,2024-01-09

[6]

一种晶圆片研磨承载装置 [P].

裴坤羽 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN212947225U ,2021-04-13

[7]

一种晶圆片研磨设备 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN214980132U ,2021-12-03

[8]

一种晶圆片的研磨抛光装置 [P].

胡德立 .

中国专利 :CN220881664U ,2024-05-03

[9]

一种晶圆片封装用研磨抛光设备 [P].

黎阳 ;

柴能 .

中国专利 :CN222177305U ,2024-12-17

[10]

一种晶圆研磨机晶圆片放反报警装置 [P].

刘虎 .

中国专利 :CN215770013U ,2022-02-08

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