用于基板减薄设备的基板搬运系统、搬运设备、方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410518934.8

申请日：

2024-04-28

公开(公告)号：

CN118305668A

公开(公告)日：

2024-07-09

发明(设计)人：

路新春赵德文刘远航靳凯强刘殿生

申请人：

华海清科（北京）科技有限公司华海清科股份有限公司

申请人地址：

100000 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室

IPC主分类号：

B24B7/22

IPC分类号：

B24B27/00 B24B41/00 B24B41/06

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-09	公开	公开
2024-07-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 7/22申请日:20240428

共 50 条

[1]

用于晶圆减薄设备的搬运系统、方法、装置及晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

刘远航 ;

靳凯强 ;

马帅 .

中国专利 :CN118305669A ,2024-07-09

[2]

用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备 [P].

靳凯强 ;

刘殿生 ;

刘远航 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN118181030A ,2024-06-14

[3]

基板搬运设备 [P].

陈成 ;

谢广硕 ;

陈明耀 ;

吴昭宽 ;

杨爽 .

中国专利 :CN216511153U ,2022-05-13

[4]

基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

藤森一夫 .

日本专利 :CN121175791A ,2025-12-19

[5]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

中国专利 :CN114269666A ,2022-04-01

[6]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

长渕皓二 ;

垂野真 ;

实政泰树 ;

南孝 .

日本专利 :CN118990471A ,2024-11-22

[7]

基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法 [P].

松冈淳一 ;

仓田伊织 ;

在田智一 .

日本专利 :CN114269666B ,2024-02-06

[8]

基板搬运机器人、基板搬运系统及基板搬运方法 [P].

木村吉希 ;

进大介 .

中国专利 :CN104176500A ,2014-12-03

[9]

基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法 [P].

唐木征二 ;

近藤仁 ;

竹村大希 .

中国专利 :CN111547508B ,2020-08-18

[10]

基板搬运装置及基板搬运系统 [P].

李锋 ;

王凯 .

中国专利 :CN104909046A ,2015-09-16

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