銅のエッチング剤[ja]

被引:0
申请号
JP20220186779
申请日
2022-11-22
公开(公告)号
JP7436070B1
公开(公告)日
2024-02-21
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23F1/18
IPC分类号
H05K3/06
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[3]
銅エッチング液組成物及びエッチング方法[ja] [P]. 
MITSUI HIDEO ;
KISHI KAZUYUKI .
日本专利 :JP2024060565A ,2024-05-02
[4]
銅厚膜用エッチング液[ja] [P]. 
日本专利 :JP6443649B1 ,2018-12-26
[5]
銅厚膜用エッチング液[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019180915A1 ,2020-04-30
[6]
シリコン表面の銅支援反射防止エッチング[ja] [P]. 
日本专利 :JP2015512566A ,2015-04-27
[7]
銅シード層除去用銅エッチング液[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025166054A ,2025-11-05
[8]
銅シード層除去用銅エッチング液[ja] [P]. 
日本专利 :JP7759685B1 ,2025-10-24
[9]
エッチング液[ja] [P]. 
日本专利 :JP6458913B1 ,2019-01-30
[10]
エッチング液[ja] [P]. 
日本专利 :JP6485587B1 ,2019-03-20