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ワイドバンドギャップ材料を含む荷電粒子センサ[ja]
被引：0
申请号：
JP20230208931
申请日：
2023-12-12
公开(公告)号：
JP2024084725A
公开(公告)日：
2024-06-25
发明(设计)人：
BRANISLAV STRAKA
JAN LASKO
LIBOR NOVAK
VOJTECH MAHEL
RADEK SMOLKA
PETR GLAJC
申请人：
FEI CO
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/244
IPC分类号：
H01J37/28
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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