ワイドバンドギャップ基板を加熱する方法及びシステム[ja]

被引:0
申请号
JP20240524667
申请日
2021-10-27
公开(公告)号
JP2024541233A
公开(公告)日
2024-11-08
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/24
IPC分类号
G01J5/00 G01J5/0802 G01J5/48 H05B1/02 H05B3/14
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
ワイドバンドギャップ材料を含む荷電粒子センサ[ja] [P]. 
BRANISLAV STRAKA ;
JAN LASKO ;
LIBOR NOVAK ;
VOJTECH MAHEL ;
RADEK SMOLKA ;
PETR GLAJC .
日本专利 :JP2024084725A ,2024-06-25
[4]
[5]
[6]
ワイドギャップ半導体装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019116481A1 ,2019-12-19
[7]
ワイドギャップ半導体装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6554614B1 ,2019-07-31
[8]
ワイドギャップ半導体装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019092871A1 ,2019-11-14
[9]
ワイドギャップ半導体装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6530567B1 ,2019-06-12
[10]
ワイドギャップ半導体装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2019092872A1 ,2020-11-12