誘電体上の酸化物の選択的ＰＥＡＬＤ[ja]

被引：0

申请号：

JP20220185876

申请日：

2022-11-21

公开(公告)号：

JP7470173B2

公开(公告)日：

2024-04-17

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/316

IPC分类号：

C23C16/42 C23C16/455

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共 50 条

[1]

誘電体上の酸化物の選択的ＰＥＡＬＤ[ja] [P].

日本专利 :JP2020520126A ,2020-07-02

[2]

誘電体上の酸化物の選択的ＰＥＡＬＤ[ja] [P].

日本专利 :JP7183187B2 ,2022-12-05

[3]

誘電体上の酸化物の選択的ＰＥＡＬＤ[ja] [P].

EVA TOIS ;

VILJAMI J PORE ;

SUVI P HAUKKA ;

SUZUKI TOSHIYA ;

JIA LINGYUN ;

KIM SUN JA ;

ORESTE MADIA .

日本专利 :JP2023018059A ,2023-02-07

[4]

基板の選択的酸化[ja] [P].

日本专利 :JP2025534307A ,2025-10-15

[5]

混合酸化物誘電体膜の固有エリア選択性成膜[ja] [P].

日本专利 :JP2025513381A ,2025-04-24

[6]

酸化物誘電体素子及び酸化物誘電体素子の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017038806A1 ,2017-08-31

[7]

誘電体膜の選択的堆積のための方法及び装置[ja] [P].

日本专利 :JP2020515082A ,2020-05-21

[8]

酸化物強誘電体の分極電場の増大法[ja] [P].

日本专利 :JP5659517B2 ,2015-01-28

[9]

選択的触媒還元のための金属酸化物触媒[ja] [P].

日本专利 :JP2024531288A ,2024-08-29

[10]

混合水酸化物沈殿物の選択的酸浸出[ja] [P].

日本专利 :JP2024544881A ,2024-12-05

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