共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
誘電体上の酸化物の選択的ＰＥＡＬＤ[ja]
被引：0
申请号：
JP20220185876
申请日：
2022-11-21
公开(公告)号：
JP2023018059A
公开(公告)日：
2023-02-07
发明(设计)人：
EVA TOIS
VILJAMI J PORE
SUVI P HAUKKA
SUZUKI TOSHIYA
JIA LINGYUN
KIM SUN JA
ORESTE MADIA
申请人：
ASM IP HOLDING BV
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C16/42
C23C16/455
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |