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一种半导体原料研磨设备
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411496973.9
申请日
:
2024-10-25
公开(公告)号
:
CN119017171A
公开(公告)日
:
2024-11-26
发明(设计)人
:
黄芳玲
陈叁洋
申请人
:
千予半导体材料(江苏)有限公司
申请人地址
:
226299 江苏省南通市启东市生命健康科技园金科路899号7幢206室
IPC主分类号
:
B24B7/22
IPC分类号
:
B24B27/00
B24B55/03
代理机构
:
北京环泰睿辰专利代理有限公司 37322
代理人
:
魏茂喜
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-12-27
授权
授权
2024-11-26
公开
公开
2024-12-13
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):B24B 7/22申请日:20241025
共 50 条
[1]
一种半导体原料研磨设备
[P].
黄芳玲
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
千予半导体材料(江苏)有限公司
千予半导体材料(江苏)有限公司
黄芳玲
;
陈叁洋
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
千予半导体材料(江苏)有限公司
千予半导体材料(江苏)有限公司
陈叁洋
.
中国专利
:CN119017171B
,2024-12-27
[2]
一种半导体材料研磨设备
[P].
魏欢
论文数:
0
引用数:
0
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0
魏欢
;
贺振华
论文数:
0
引用数:
0
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0
贺振华
.
中国专利
:CN209579183U
,2019-11-05
[3]
一种半导体材料研磨设备
[P].
廖海涛
论文数:
0
引用数:
0
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0
廖海涛
.
中国专利
:CN210732120U
,2020-06-12
[4]
一种半导体研磨主轴及半导体研磨设备
[P].
朱德彪
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
朱德彪
;
张俊然
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
张俊然
;
杨月平
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
杨月平
;
曹玲娟
论文数:
0
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0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
曹玲娟
;
单保淋
论文数:
0
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0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
单保淋
;
魏克温
论文数:
0
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0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
魏克温
.
中国专利
:CN118650509A
,2024-09-17
[5]
一种半导体研磨主轴及半导体研磨设备
[P].
朱德彪
论文数:
0
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0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
朱德彪
;
张俊然
论文数:
0
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0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
张俊然
;
杨月平
论文数:
0
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0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
杨月平
;
曹玲娟
论文数:
0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
曹玲娟
;
单保淋
论文数:
0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
单保淋
;
魏克温
论文数:
0
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0
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0
机构:
复旦大学宁波研究院
复旦大学宁波研究院
魏克温
.
中国专利
:CN118650509B
,2025-03-18
[6]
半导体材料研磨设备
[P].
王娟
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王娟
.
中国专利
:CN206937069U
,2018-01-30
[7]
一种半导体晶圆研磨设备
[P].
陈泽键
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
陈泽键
.
中国专利
:CN115056061A
,2022-09-16
[8]
一种半导体晶圆研磨设备
[P].
彭劲松
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
彭劲松
;
张巍
论文数:
0
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机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
张巍
;
郭天宇
论文数:
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机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
郭天宇
;
刘志坤
论文数:
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0
机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
刘志坤
.
中国专利
:CN119057601B
,2025-04-22
[9]
一种半导体晶圆研磨设备
[P].
彭劲松
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0
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机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
彭劲松
;
张巍
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机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
张巍
;
郭天宇
论文数:
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引用数:
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机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
郭天宇
;
刘志坤
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
江苏爱矽半导体科技有限公司
江苏爱矽半导体科技有限公司
刘志坤
.
中国专利
:CN119057601A
,2024-12-03
[10]
一种半导体加工研磨设备
[P].
不公告发明人
论文数:
0
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0
h-index:
0
不公告发明人
.
中国专利
:CN212444726U
,2021-02-02
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