一种半导体原料研磨设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411496973.9
申请日
2024-10-25
公开(公告)号
CN119017171A
公开(公告)日
2024-11-26
发明(设计)人
黄芳玲 陈叁洋
申请人
千予半导体材料(江苏)有限公司
申请人地址
226299 江苏省南通市启东市生命健康科技园金科路899号7幢206室
IPC主分类号
B24B7/22
IPC分类号
B24B27/00 B24B55/03
代理机构
北京环泰睿辰专利代理有限公司 37322
代理人
魏茂喜
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体原料研磨设备 [P]. 
黄芳玲 ;
陈叁洋 .
中国专利 :CN119017171B ,2024-12-27
[2]
一种半导体材料研磨设备 [P]. 
魏欢 ;
贺振华 .
中国专利 :CN209579183U ,2019-11-05
[3]
一种半导体材料研磨设备 [P]. 
廖海涛 .
中国专利 :CN210732120U ,2020-06-12
[4]
一种半导体研磨主轴及半导体研磨设备 [P]. 
朱德彪 ;
张俊然 ;
杨月平 ;
曹玲娟 ;
单保淋 ;
魏克温 .
中国专利 :CN118650509A ,2024-09-17
[5]
一种半导体研磨主轴及半导体研磨设备 [P]. 
朱德彪 ;
张俊然 ;
杨月平 ;
曹玲娟 ;
单保淋 ;
魏克温 .
中国专利 :CN118650509B ,2025-03-18
[6]
半导体材料研磨设备 [P]. 
王娟 .
中国专利 :CN206937069U ,2018-01-30
[7]
一种半导体晶圆研磨设备 [P]. 
陈泽键 .
中国专利 :CN115056061A ,2022-09-16
[8]
一种半导体晶圆研磨设备 [P]. 
彭劲松 ;
张巍 ;
郭天宇 ;
刘志坤 .
中国专利 :CN119057601B ,2025-04-22
[9]
一种半导体晶圆研磨设备 [P]. 
彭劲松 ;
张巍 ;
郭天宇 ;
刘志坤 .
中国专利 :CN119057601A ,2024-12-03
[10]
一种半导体加工研磨设备 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN212444726U ,2021-02-02