液态金属氮化物薄膜的制备方法及其产品和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410979699.4

申请日：

2024-07-22

公开(公告)号：

CN118957515A

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

陈雪庆崔云涛刘静

申请人：

中国科学院理化技术研究所

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村东路29号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/34 C23C14/06

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李正

法律状态：

公开

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	公开	公开
2024-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240722

共 50 条

[1]

氮化物单晶薄膜及其制备方法和应用 [P].

屈艺谱 ;

徐俞 ;

王钰宁 ;

王建峰 ;

徐科 .

中国专利 :CN114277443A ,2022-04-05

[2]

金属氮化物薄膜沉积方法 [P].

马迎功 ;

郭冰亮 ;

武树波 ;

师帅涛 ;

赵晨光 ;

杨健 ;

宋玲彦 ;

甄梓扬 ;

翟洪涛 ;

许文学 ;

张璐 ;

崔亚欣 ;

段俊雄 ;

孙鲁阳 .

中国专利 :CN112760602B ,2021-05-07

[3]

极性控制方法、氮化物薄膜制备方法和氮化物薄膜 [P].

李成果 ;

曾巧玉 ;

陈志涛 .

中国专利 :CN111128689A ,2020-05-08

[4]

氮化物材料的制备方法及氮化物材料 [P].

梁智文 ;

王琦 ;

袁冶 ;

王新强 ;

汪青 ;

张国义 .

中国专利 :CN111816550A ,2020-10-23

[5]

一种高强韧氮化物薄膜及其制备方法和应用 [P].

赵长春 ;

王方方 ;

温繁 .

中国专利 :CN118756097A ,2024-10-11

[6]

一种高强韧氮化物薄膜及其制备方法和应用 [P].

赵长春 ;

王方方 ;

温繁 .

中国专利 :CN118756097B ,2024-12-03

[7]

制造金属氮化物薄膜的方法 [P].

陈敏璋 ;

江宇森 ;

黄冠晟 ;

鍾冯钧 .

中国专利 :CN120443139A ,2025-08-08

[8]

生长第（Ⅲ）族金属氮化物薄膜的方法和装置、以及第（Ⅲ）族金属氮化物薄膜 [P].

K·S·A·布彻 ;

M－P·F·温特伯特埃普富凯 ;

P·P－T·陈 ;

J·L·P·坦恩哈韦 ;

D·I·约翰逊 .

中国专利 :CN101124353A ,2008-02-13

[9]

一种氮化物薄膜及其制备方法 [P].

朱亚丹 ;

卢太平 ;

张立春 ;

王美山 ;

梁豆豆 ;

贺文伟 .

中国专利 :CN115799046B ,2025-11-04

[10]

氮化物薄膜刻蚀液的再生方法和氮化物薄膜的刻蚀方法 [P].

吴祥 ;

李卫民 .

中国专利 :CN114249477A ,2022-03-29

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