結晶性酸化物膜及び積層構造体[ja]

被引：0

申请号：

JP20230055934

申请日：

2023-03-30

公开(公告)号：

JP2024143321A

公开(公告)日：

2024-10-11

发明(设计)人：

SHINOHE TAKASHI ANDO HIROYUKI MATSUKI HIDEO HOSHI SHINICHI KANEMURA TAKASHI

申请人：

FLOSFIA INC DENSO CORP MIRISE TECHNOLOGIES CORPORATION TOYOTA MOTOR CORP

申请人地址：

IPC主分类号：

C23C16/40

IPC分类号：

B32B7/025 H01L21/365 H01L21/368

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

結晶性酸化物膜、積層構造体及び半導体装置[ja] [P].

WATABE TAKENORI ;

HASHIGAMI HIROSHI ;

SAKAZUME TAKAHIRO ;

UNO KAZUYUKI .

日本专利 :JP2022088406A ,2022-06-14

[2]

結晶性酸化物膜、該結晶性酸化物膜を有する構造体、及び該結晶性酸化物膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022072611A ,2022-05-17

[3]

結晶性酸化物薄膜、積層体及び結晶性酸化物薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7622195B2 ,2025-01-27

[4]

結晶積層構造体[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013035472A1 ,2015-03-23

[5]

半導体積層体及び結晶性金属酸化物半導体膜[ja] [P].

日本专利 :JP2022070975A ,2022-05-13

[6]

金属酸化物膜、金属酸化物積層体、及び金属酸化物積層体の製造方法[ja] [P].

IIZUKA MUNEAKI ;

FUJIMURA TOSHINOBU ;

NAKAZATO KATSUMI ;

SATO KYOHEI ;

HIRATA JUNYA .

日本专利 :JP2024113674A ,2024-08-22

[7]

金属酸化物膜、金属酸化物積層体、及び金属酸化物積層体の製造方法[ja] [P].

IIZUKA MUNEAKI ;

FUJIMURA TOSHINOBU ;

NAKAZATO KATSUMI ;

SATO KYOHEI ;

HIRATA JUNYA .

日本专利 :JP2024127825A ,2024-09-20

[8]

結晶性酸化物膜[ja] [P].

日本专利 :JP7168827B2 ,2022-11-10

[9]

結晶性酸化物膜[ja] [P].

日本专利 :JP7306640B2 ,2023-07-11

[10]

結晶性酸化物膜[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020004250A1 ,2021-08-05

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