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等离子体蚀刻方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910550373.9
申请日：
2019-06-24
公开(公告)号：
CN110634738B
公开(公告)日：
2024-11-05
发明(设计)人：
海尤玛·阿什拉夫
凯文·里德尔
亚历克斯·伍德
申请人：
SPTS科技有限公司
申请人地址：
英国新港
IPC主分类号：
H01L21/3065
IPC分类号：
H01L21/308
H01L21/02
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
章蕾
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-05 | 授权 | 授权 |