一种QFN封装芯片的切割分离方法

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专利类型
发明
申请号
CN202310364858.5
申请日
2023-04-07
公开(公告)号
CN116387198B
公开(公告)日
2024-11-01
发明(设计)人
尚跃 陈秋义
申请人
上海聚跃检测技术有限公司
申请人地址
201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张东路1388号2幢101室
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
H01L21/68
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
王艳斋
法律状态
授权
国省代码
上海市
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共 50 条
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