共 50 条
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[50]
搬送装置及び成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20210099596
申请日：
2021-06-15
公开(公告)号：
JP7350029B2
公开(公告)日：
2023-09-25
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/68
H10K99/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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