一种半导体厂房新风系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310208063.5

申请日：

2023-02-27

公开(公告)号：

CN116045413B

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

王宁

申请人：

中电环宇（北京）建设工程有限公司

申请人地址：

100089 北京市海淀区羊坊店路18号1幢11层1115

IPC主分类号：

F24F7/003

IPC分类号：

F24F7/06 F24F8/108 F24F8/158 F24F13/28 F24F3/14

代理机构：

北京维正专利代理有限公司 11508

代理人：

张岭

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体厂房新风系统 [P].

黄平 .

中国专利 :CN115371176A ,2022-11-22

[2]

一种半导体厂房新风系统 [P].

黄平 .

中国专利 :CN217383215U ,2022-09-06

[3]

一种半导体厂房新风机组 [P].

杨林峰 .

中国专利 :CN206410275U ,2017-08-15

[4]

一种半导体厂房抗微震结构 [P].

王新河 .

中国专利 :CN116065870B ,2025-09-23

[5]

半导体厂房的异味监测装置 [P].

杨波 .

中国专利 :CN117990862A ,2024-05-07

[6]

半导体厂房净化设备 [P].

张哲 ;

吕芳栋 ;

卫元元 ;

罗鸿 ;

叶水全 ;

王奇缘 ;

简征程 ;

李建 ;

李书文 ;

徐江 ;

张旭 ;

张建 ;

卿成 .

中国专利 :CN116105251B ,2024-01-05

[7]

一种半导体厂房洁净室 [P].

王峻毅 ;

洪震 .

中国专利 :CN111305612A ,2020-06-19

[8]

一种半导体厂房用洗涤塔 [P].

王宁 ;

吴凯龙 ;

许颖超 ;

刘增树 .

中国专利 :CN116139681B ,2024-09-17

[9]

一种半导体新风制冷系统 [P].

刘康 ;

高俊岭 ;

甘平 .

中国专利 :CN216977069U ,2022-07-15

[10]

一种半导体晶圆厂房气体监控系统 [P].

罗小盛 .

中国专利 :CN207557198U ,2018-06-29

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