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一种异质复合衬底及其制备方法和应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411197758.9
申请日：
2024-08-29
公开(公告)号：
CN119092397A
公开(公告)日：
2024-12-06
发明(设计)人：
刘之鹏
刘福超
母凤文
谭向虎
申请人：
青禾晶元（天津）半导体材料有限公司
申请人地址：
300451 天津市滨海新区滨海高新区滨海科技园汉港路与高泰道交口高泰道4号10号厂房-101、102
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
C30B29/06
C30B29/36
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
姚品雅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
天津市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20240829 |
| 2024-12-06 | 公开 | 公开 |