一种碳化硅复合衬底及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510653436.9

申请日：

2025-05-21

公开(公告)号：

CN120174487A

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

刘之鹏刘福超母凤文郭超谭向虎

申请人：

青禾晶元（天津）半导体材料有限公司

申请人地址：

300451 天津市滨海新区滨海高新区滨海科技园汉港路与高泰道交口高泰道4号10号厂房-101、102

IPC主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B28/14 C30B31/06 H01L21/18 H10D62/832

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋

法律状态：

公开

国省代码：

天津市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	公开	公开
2025-09-09	授权	授权
2025-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/36申请日:20250521

共 50 条

[1]

一种碳化硅复合衬底及其制备方法和应用 [P].

刘之鹏 ;

刘福超 ;

母凤文 ;

郭超 ;

谭向虎 .

中国专利 :CN120174487B ,2025-09-09

[2]

一种碳化硅复合衬底的制备方法及碳化硅复合衬底和应用 [P].

李傲雷 ;

母凤文 ;

谭向虎 ;

刘福超 ;

郭超 .

中国专利 :CN118866663A ,2024-10-29

[3]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333B ,2025-10-10

[4]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333A ,2025-06-24

[5]

一种复合碳化硅衬底及其制备方法 [P].

郭超 ;

母凤文 .

中国专利 :CN115101584A ,2022-09-23

[6]

一种复合碳化硅衬底及其制备方法 [P].

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN115662881A ,2023-01-31

[7]

一种碳化硅复合衬底及其制备方法 [P].

范博珺 ;

刘福超 ;

母凤文 ;

谭向虎 .

中国专利 :CN118977194A ,2024-11-19

[8]

一种复合碳化硅衬底及其制备方法 [P].

王振中 .

中国专利 :CN114447095A ,2022-05-06

[9]

碳化硅衬底和碳化硅外延衬底 [P].

本家翼 ;

冲田恭子 .

中国专利 :CN110651072A ,2020-01-03

[10]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

中国专利 :CN114761628A ,2022-07-15

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