共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
抽气环调节机构及半导体加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410873948.1
申请日：
2024-07-01
公开(公告)号：
CN118835213A
公开(公告)日：
2024-10-25
发明(设计)人：
苏欣
申请人：
拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司
申请人地址：
110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
C23C16/44
IPC分类号：
C23C16/52
H01L21/67
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
徐迪
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-25 | 公开 | 公开 |
| 2024-11-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/44申请日:20240701 |