三维形状测定装置以及三维形状测定方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202380029160.6
申请日
2023-03-08
公开(公告)号
CN118922684A
公开(公告)日
2024-11-08
发明(设计)人
小仓隆志 王肖南
申请人
株式会社东京精密
申请人地址
日本
IPC主分类号
G01B11/24
IPC分类号
G01B9/0209
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
海坤
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[21]
三维测定装置 [P]. 
间宫高弘 ;
二村伊久雄 .
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[22]
三维测定装置 [P]. 
梅村信行 ;
在间尚洋 ;
山崎耕平 .
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[23]
三维形状测定装置用探测器 [P]. 
舟桥隆宪 .
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[24]
目标及使用其的三维形状测定装置 [P]. 
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[25]
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渡边将史 .
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[26]
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[27]
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[28]
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[29]
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[30]
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