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一种具有防护功能的晶圆上料机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420718360.4
申请日：
2024-04-09
公开(公告)号：
CN222071910U
公开(公告)日：
2024-11-26
发明(设计)人：
郑少阳
范浩宗
申请人：
鸿盛芯创半导体设备（昆山）有限公司
申请人地址：
215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇黄浦江中路2388号3306室
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/677
F16F15/067
代理机构：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385
代理人：
曹精
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/683登记生效日:20250611变更事项:专利权人变更前权利人:鸿盛芯创半导体设备（昆山）有限公司变更后权利人:鸿盛芯创半导体设备（昆山）有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇黄浦江中路2388号3306室变更后权利人:215300 江苏省苏州市昆山市陆家镇增善路2号1号厂房五楼变更事项:专利权人变更后权利人:奥芯明半导体设备技术（上海）有限公司变更事项:国家或地区变更后权利人:中国 |
| 2025-09-12 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/683登记生效日:20250827变更事项:专利权人变更前权利人:鸿盛芯创半导体设备（昆山）有限公司变更后权利人:奥芯明半导体设备技术（上海）有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:215300 江苏省苏州市昆山市陆家镇增善路2号1号厂房五楼变更后权利人:201311 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区博艺路99、111号7幢1层101室,1夹层,2层201室,2夹层,3层301室变更事项:专利权人变更前权利人:奥芯明半导体设备技术（上海）有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国 |
| 2024-11-26 | 授权 | 授权 |