学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

一种适用于大尺寸硅片的高悬浮研磨液、制备方法及用途

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311557087.8
申请日：
2023-11-21
公开(公告)号：
CN117757432B
公开(公告)日：
2025-01-03
发明(设计)人：
李传强 侯军 褚雨露 单晓倩
申请人：
江苏奥首材料科技有限公司
申请人地址：
215513 江苏省苏州市常熟市碧溪新区万和路39号
IPC主分类号：
C09K3/14
IPC分类号：
C09G1/02 H01L21/306
代理机构：
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312
代理人：
涂萧恺
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省 苏州市
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-04-12 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C09K 3/14申请日:20231121
2024-03-26 公开 公开
2025-01-03 授权 授权
共 50 条
[1]
一种适用于大尺寸硅片的高悬浮研磨液、制备方法及用途 [P]. 
李传强 ;
侯军 ;
褚雨露 ;
单晓倩 .
中国专利 :CN117757432A ,2024-03-26
[2]
一种高移除速率、低划伤的大尺寸硅片研磨液、其制备方法及用途 [P]. 
侯军 ;
李传强 ;
单晓倩 ;
褚雨露 .
中国专利 :CN117736698B ,2024-12-10
[3]
一种高移除速率、低划伤的大尺寸硅片研磨液、其制备方法及用途 [P]. 
侯军 ;
李传强 ;
单晓倩 ;
褚雨露 .
中国专利 :CN117736698A ,2024-03-22
[4]
一种应用于大尺寸硅片研磨的悬浮助剂、其制备方法及用途 [P]. 
侯军 ;
李传强 .
中国专利 :CN113621346B ,2021-11-09
[5]
一种硅片保持环研磨液及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
惠宏业 ;
万旭军 ;
朱海青 .
中国专利 :CN116082961B ,2024-10-15
[6]
一种用于硅片加工的研磨液 [P]. 
覃文光 ;
张文青 ;
况亚伟 ;
周潘潘 ;
胡程尧 .
中国专利 :CN117757431A ,2024-03-26
[7]
一种用于大尺寸硅片的切割液、其制备方法和用途 [P]. 
侯军 ;
李传友 ;
吕婧 ;
孙瑶 .
中国专利 :CN120904954A ,2025-11-07
[8]
一种适用于大尺寸超薄化硅片切割液及其制备方法 [P]. 
张静 ;
任凡 ;
梁立春 ;
朱玉龙 ;
王亮 .
中国专利 :CN117821155A ,2024-04-05
[9]
一种大尺寸硅片金刚线切割液、其制备方法和用途 [P]. 
侯军 ;
吕婧 ;
李传友 ;
褚雨露 .
中国专利 :CN117089389B ,2025-08-19
[10]
一种适用于半导体的研磨液组合物及其制备方法 [P]. 
杨红山 ;
刘海威 ;
邹宇 ;
张平 ;
刘春俊 ;
彭同华 ;
杨建 .
中国专利 :CN121022351A ,2025-11-28
12345