一种蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411279448.1

申请日：

2024-09-12

公开(公告)号：

CN119121231A

公开(公告)日：

2024-12-13

发明(设计)人：

张伟明聂航章学春李玉兴刘明辉朱旺

申请人：

上海盛剑微电子有限公司

申请人地址：

201400 上海市奉贤区舜工路38号24幢

IPC主分类号：

C23F1/26

IPC分类号：

C23F1/18 C23F1/44

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

邵慧敏

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-13	公开	公开
2024-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/26申请日:20240912

共 50 条

[1]

蚀刻液和蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN113529085A ,2021-10-22

[2]

铜蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

张伟明 ;

刘明辉 ;

聂航 ;

衡京 ;

章学春 .

中国专利 :CN119753686A ,2025-04-04

[3]

蚀刻剂、蚀刻方法和蚀刻剂制备液 [P].

横沟贵宏 ;

鹤本浩之 ;

柿泽政彦 .

中国专利 :CN105378901B ,2016-03-02

[4]

多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液以及蚀刻方法 [P].

白滨祐二 ;

着能真 .

中国专利 :CN111094627B ,2020-05-01

[5]

一种玻璃蚀刻液、制备方法及蚀刻方法 [P].

张喜华 ;

杨剑 ;

朱光浪 .

中国专利 :CN113955947A ,2022-01-21

[6]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

石崎隼郎 ;

大宫大辅 .

中国专利 :CN104233299B ,2014-12-24

[7]

一种金属蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

罗光洲 ;

罗先宇 .

中国专利 :CN117888109A ,2024-04-16

[8]

蚀刻方法及蚀刻液 [P].

宋智辉 ;

王辉 ;

廖辉华 ;

康报虹 .

中国专利 :CN115132584A ,2022-09-30

[9]

一种环保钛合金蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

李初荣 ;

陈三名 ;

韦金宇 .

中国专利 :CN120041834A ,2025-05-27

[10]

一种碱性镍合金蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

李初荣 ;

程莉君 ;

刘江 ;

韦金宇 .

中国专利 :CN120967349A ,2025-11-18

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